プラズマ処理装置およびプラズマ処理装置の運転状態の出力方法

Plasma treatment apparatus and its operational state output method

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma treatment apparatus in which the cause of a trouble can be investigated timely by utilizing sampling data of an operational state when the treatment apparatus is in operation effectively, and to provide its operational state output method. <P>SOLUTION: In the plasma treatment apparatus performing plasma treatment under predetermined operational conditions, sampling data of information indicative of the operational state is represented by a graph at a monitor signal output section 28 and displayed on a monitor 17, and an image file in a form of data file of a display screen can be outputted to a removable storage device 19 or a printer 20 by an image file output means 33. The image file can be referred, as required, upon the occurrence of a trouble and the cause of the trouble can be investigated timely. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
【課題】装置稼動時における運転状態のサンプリングデータを有効に活用して、不具合原因のタイムリーな究明を可能とするプラズマ処理装置およびプラズマ処理装置の運転状態の出力方法を提供することを目的とする。 【解決手段】所定の運転条件でプラズマ処理を行うプラズマ処理装置において、運転状態を示す情報をサンプリングしたサンプリングデータをモニター信号出力部28によってグラフ化してモニター17に表示させるとともに、表示画面をデータファイル化した画像ファイルを画像ファイル出力手段33によってリムーバブル型記憶装置19または印刷装置20へ出力できるように構成する。これにより、トラブル発生時には必要に応じてこの画像ファイルを参照することができ、不具合原因をタイムリーに究明することができる。 【選択図】図2

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