集束イオンビーム加工観察装置および試料加工方法、試料観察方法

Focusing ion beam processing monitoring device, sample processing method, and sample monitoring method

Abstract

【課題】試料の同一視野から表面構造情報、内部構造情報および内部組成情報を同時に取得できる機能を有する集束イオンビーム加工観察装置を提供し、また、この集束イオンビーム加工観察装置を用いて試料の多方向から取得される試料の構造および組成に関する情報を基づき試料加工位置を正確に設定して、試料加工および試料観察を行う方法を提供する。 【解決手段】前記試料構造および組成情報を同時に取得するため、二次電子検出器、透過電子検出器、エネルギー分散型X線分光器あるいは電子線エネルギー損失分光器を備えつける。また、試料回転および傾斜機能を備えた試料台を用いる。さらに、マーキング加工を行う。 【選択図】図1
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a focusing ion beam processing monitoring device having a function capable of simultaneously acquiring surface structure information, internal structure information and internal composition information from the same visual field of a sample, and to provide a method for performing sample processing and sample monitoring by accurately setting a sample processing position based on information regarding the structure and composition of the sample which are acquired form various directions of the sample by using this focusing ion beam processing monitoring device. SOLUTION: A secondary electron detector, a transmitted electron detector, an energy dispersion type X-ray spectrometer, and an energy loss spectrometer are provided to simultaneously acquire the structure and composition information of the sample. In addition, a sample stand equipped with a function to rotate and tilt the sample is used. Furthermore, marking is applied. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

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